可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、最高測速下分辨率高等優(yōu)點。
產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細分技術(shù),可實現(xiàn)最高4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑啙嵒挠涗浌芾怼?/span>
立式激光干涉儀產(chǎn)品配置
SJ6800激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
其中,線性鏡組為標配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設備的定位精度、重復定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
立式激光干涉儀產(chǎn)品功能特點
功能廣
可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準;
可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,為設備誤差修正提供依據(jù);
具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等;
支持手動或自動進行環(huán)境補償。
激光干涉儀應用:組裝機床高校、機床直線度測量、機床測量、數(shù)據(jù)機床校準、機床回轉(zhuǎn)軸測量、龍門加工中心測量、激光切割機測量、自動化設備測量、長導軌測量、加工中心回轉(zhuǎn)軸測量、測量機床傾斜軸線測量